Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: Учебное пособие
ISBN: 978-5-9729-0337-5

ISBN: 978-5-9729-0337-5.

Издательство: Инфра-Инженерия.

2019 год, 352 стр.

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры...

Другие подробности...

Посмотреть изображения в Интернете (не все изображения могут соответствовать именно этой книге).