Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: Учебное пособие
ISBN: 978-5-9729-0337-5
ISBN: 978-5-9729-0337-5.
Издательство: Инфра-Инженерия.
2019 год, 352 стр.
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры...
Другие подробности...
Посмотреть изображения в Интернете (не все изображения могут соответствовать именно этой книге).
|