Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-справочное руководство
ISBN: 978-5-91559-215-4
Авторы: Василий Киреев.
ISBN: 978-5-91559-215-4.
Издательство: Интеллект.
2016 год, 320 стр., твердая обложка
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового...
Другие подробности...
Посмотреть изображения в Интернете (не все изображения могут соответствовать именно этой книге).
|