Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
ISBN: 978-5-8114-5788-5

ISBN: 978-5-8114-5788-5.

Издательство: Планета музыки.

2021 год, 220 стр.

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и...

Другие подробности...

Посмотреть изображения в Интернете (не все изображения могут соответствовать именно этой книге).